皆さんこんにちは！

福岡県行橋市を拠点に半導体設備・薬液洗浄設備・塗料や食品設備等の工場にて、各種配管工事をしている

株式会社アルファテック、更新担当の富山です。

超純水配管の役割と技術

次にご紹介するのは 超純水配管工事。

半導体製造において超純水は「工場の血液」とも呼ばれます。

シリコンウェハーを洗浄する際に、通常の水道水では不純物が多すぎて使い物になりません。

💧 超純水とは？

超純水（Ultrapure Water）は、単なる「きれいな水」ではありません。

イオン、金属、細菌、有機物を徹底的に除去
電気伝導率はほぼゼロ
H₂Oに限りなく近い“純粋な水”

👉 半導体製造に使われるのは、この「世界で最もきれいな水」です。

🔩 配管に求められる条件

超純水を運ぶ配管は、普通の水道管とは全く異なる厳しさがあります。

素材の選定
- 錆びにくく耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L）
- 化学的に安定したフッ素樹脂（PFAやPVDF）

溶接技術
- 自動TIG溶接で均一な継ぎ目を形成
- 溶接後は内視鏡で管内を確認、滑らかで異物のない仕上がりを確認

清浄度の維持
- 溶接後すぐに窒素ガスでパージ
- 酸化を防ぎ、管内の清浄度を保つ

👉 少しでも突起や酸化皮膜があれば、それが汚染源となるため「完璧さ」が要求されます。

🛠 配管工事の流れ

設計段階
- 水の滞留を避けるルート設計
- 曲がりを減らし、最短で効率的な配管ラインを描く
施工段階
- 溶接は全自動機で行い、作業員は設定と監視に専念
- 完成後は配管内部を 超純水や窒素でフラッシング（洗浄）
検査段階
- 内視鏡検査、X線検査で内部品質をチェック
- 水質試験で粒子や溶出物がないか分析

👉 工事完了はゴールではなく、むしろ「スタート」。その後の維持管理が重要です。

🔍 稼働後のメンテナンス

超純水配管は使い始めてからも注意が必要です。

定期的に水質をサンプリングし、不純物を測定
施工から数年経過しても、初期と同じレベルの清浄度を維持
必要に応じて配管の部分交換や再洗浄を実施

👉 半導体の進化に合わせて配管の技術も進化を続けています。

✨ まとめ

クリーンルーム対応
工事に入る前から徹底した清浄化を行い、人も工具も環境も「ゴミゼロ」を目指す。
超純水配管
半導体製造を支える「血液」を運ぶため、世界最高レベルの配管精度と維持管理が必要。

どちらも「見えない裏側」で行われる仕事ですが、その一つひとつが 最先端技術を支える土台 になっています。

次回もお楽しみに！

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株式会社アルファテック、更新担当の富山です。

クリーンルーム対応と配管工事の徹底管理

半導体工場の心臓部といえば「クリーンルーム」。

ここでは、わずかなホコリやゴミが製造品質に直結します。

私たちが日常で気にも留めないような微細なゴミ一つが、数億円規模の製品ロスを生みかねないのです。

当然ながら、配管工事に入る際にも徹底した管理体制が求められます。

👕 防塵服の着用と入室管理

クリーンルームに入る前、作業員は 全身を覆うクリーンスーツ（防塵服） を着用します。

髪の毛一本すら漏らさないフード付きのスーツ
靴専用カバー、静電気を抑える手袋
二重のマスクで呼気中の微粒子を防止

さらに入室時には エアシャワー を通過。強い気流で衣服や体に付着したホコリを徹底的に除去してから作業場に入ります。

👉 これにより、工事関係者自身が「汚染源」とならないようにしています。

🔧 工具・材料の清浄化

クリーンルームに持ち込むのは人だけではありません。

工事に使う工具や材料も徹底した清浄化が必要です。

ドリルやレンチなどはあらかじめ超純水で洗浄
資材はクリーンバッグに梱包され、開封も指定エリアで行う
研磨粉や切り粉が出る作業では、専用の吸引装置で即時回収

👉 工具の一つ一つが「医療器具」と同じ扱い。汚染を発生させない努力が続きます。

💡 微細なゴミがもたらす影響

「これくらいなら大丈夫」と思える小さなゴミが、半導体製造では致命的です。

シリコンウェハー上に粒子が付着 → 電子回路の断線
洗浄不足 → 絶縁膜や配線形成の不具合
結果として製品歩留まりが低下

半導体製造では 1％の歩留まり低下が数千万円の損失 に直結することもあります。

だからこそ、工事に携わる私たちも「ゴミを出さない・残さない」を最優先にしています。

🌬 人と環境の両面管理

クリーンルームでは、人だけでなく環境そのものも管理対象です。

空気は常に清浄化され、天井から床へと一方向に流れる「層流方式」
作業員の動作は極力ゆっくり。急な動きは空気の乱れを生み、ゴミを舞い上げる原因になる

👉 つまり、工事作業員も「空気の流れの一部」として慎重な振る舞いを求められます。