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福岡県行橋市を拠点に半導体設備・薬液洗浄設備・塗料や食品設備等の工場にて、各種配管工事をしている

株式会社アルファテック、更新担当の富山です。

 

 

 

✨半導体製造を支える「高純度ガス配管」の役割とは？

 

 

 

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🔬 半導体と高純度ガスの切っても切れない関係

 

半導体チップは、スマートフォン📱・自動車🚗・家電製品など、現代社会のあらゆる電子機器の“心臓部”です。
その製造過程では、シリコンウェハーに対して「成膜」「エッチング」「洗浄」など、極めて繊細な加工が求められます。

その工程を支えるのが 高純度ガス。
酸素・窒素・アルゴンといった一般的なガスから、フッ素系や塩素系など有毒で取り扱いに注意が必要な特殊ガスまで、数十種類が使用されています。

わずか 1ppm（100万分の1）以下 の不純物でも製品不良につながるため、常にクリーンで安定したガス供給が不可欠なのです。⚡

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🛠 ガス配管の難しさと使命

 

工場に張り巡らされたガス配管は、単なる“パイプ”ではありません。

もし配管内でサビや微細な金属片が発生した場合、それが半導体の欠陥や性能低下を引き起こしてしまいます。

そのため、高純度ガス配管には次のような使命があります👇

• 🚫 不純物を出さないこと

• 🚫 外部から混入させないこと

• 🚫 漏洩やトラブルを防ぐこと

つまり、「必要な時に、必要な量を、純度を落とさずに供給する」ことが最も大切な役割なのです✨

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🧪 使用される主なガスとその役割

 

半導体工場で使用されるガスには、それぞれ重要な役割があります。

• 酸素（O₂）：酸化膜形成や燃焼反応に利用

• 窒素（N₂）：パージガスとして配管内部や装置をクリーンに保つ

• アルゴン（Ar）：スパッタリングやプラズマ反応で安定した雰囲気を作る

• フッ素系・塩素系ガス：エッチング工程でシリコンや金属膜を正確に削る

• シラン（SiH₄）などのシリコン系ガス：薄膜形成の主要材料

これらのガスが正しく供給されることで、最先端デバイスが誕生しています💡

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📌 まとめ

 

今回は、半導体製造に欠かせない「高純度ガス配管」の役割を解説しました。
ガスの純度が製品の品質を左右するため、ほんのわずかな不純物も許されません。

🔑 ポイントを整理すると…

• 高純度ガスは数十種類あり、それぞれ工程ごとに重要な役割を持つ

• ガス配管は「不純物を出さない」「混入させない」「安定供給する」使命を背負っている

• わずかな不純物や漏洩も、致命的なトラブルにつながる

まさに「高純度ガス配管は、半導体工場の血管」なのです。

 

 

 

次回もお楽しみに！

 

 

 

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